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微電子用高端化學材料不再完全依賴進口

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             4月18日,北京化工大学、江苏博砚科技有限公司联合召开国家重点研发与产业化项目推进会,我国微电子加工用高端超纯化学品关键技术取得重大突破,并已在宜兴建成年产1000吨黑色光阻示范生产线 。这意味着,长期受国外垄断的微电子材料开始走向国产化,并为我国微电子及相关产业走出依赖“困境”起到了重要的引领作用 。
   微电子产业是我国国民经济的支柱产业,也是重点发展的战略性新兴产业 。但在此领域的核心技术、关键装备与材料是我国产业的短板,长期受欧美、日本等国家和地区的垄断 。江苏博砚电子科技有限公司董事长宗健说,“有资料显示,2017年我国进口芯片花费2072亿美元 。从材料来说,目前国内自我供给仅占总需求的10%左右 。这种被动局面继续存在,将对我国信息安全及产业发展带来很大的潜在风险 。”
   北京化工大学理学院院长聂俊介绍,该校主持承担的“微电子加工用高端超纯化学品”是国家重点研发与产业化项目,自去年启动以来,通过产学研合作,突破了微电子加工用高端电子化学品超纯化处理技术瓶颈,实现微电子加工用高感度光引发剂和弱碱显影树脂的结构设计及超纯化规模制备,并将在国内建成超纯三甲基铝(7N级)、纳米色浆、光阻材料生产线、建立光阻材料的性能评价平台,实现从原材料至最终产品的自主配套 。
   北京化工大学党委书记王芳认为,事实证明,核心技术买不来,只有靠自己,中国特色的产学研道路才能将打破垄断、掌握核心技术做成功 。微电子加工用高端超纯化学品项目,能够快速在关键技术上实现突破与量产,就是一个成功的范例 。

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